离子束

按蒸发源加热方法的不同，真空蒸发工艺可分为：()蒸发、()蒸发、离子束蒸发等。

A.电阻加热

B.电子束

C.蒸气原子

离子的质量远大于电子，故离子束加工的生产率比电子束高，但表面粗糙度稍差。

A、对

B、错

（）需要使用工具，并能将工具型面的形状“复印”到工件上。

A、离子束加工

B、电火花加工

C、电解加工

D、激光加工

光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）。

A、电子束曝光技术

B、离子束曝光技术

C、X射线曝光技术

电子束和离子束加工要求在真空条件下进行，而激光加工可在（）条件下进行。

A、非真空

B、真空

C、真空或非真空

按加工原理分类，特种加工机床可以分为（）。

A、超声波加工

B、电子束加工

C、电加工

D、离子束加工

E、激光加工

能够在淬硬材料上加工φ3小孔的特种加工方法有（）。

A、电火花加工

B、超声波加工

C、离子束加工

D、光加工

以下哪些热处理工艺不属于高能束热处理（)。
A.激光热处理
B.电子束热处理
C.离子束热处理
D.真空热处理

微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。

A、a.离子束刻蚀、激光刻蚀

B、b.干法刻蚀、湿法刻蚀

C、c.溅射加工、直写加工

下列加工方法中，利用束流轰击工件表面，在工件表面添加磷硼制作P/N结的是（）

A、激光加工

B、离子束加工

C、超声加工

D、电子束加工

下列特种加工方法中，不属于高能束加工范畴的是（）

A、激光加工

B、电火花加工

C、电子束加工

D、离子束加工

E、水射流加工

F、电解加工

下列特种加工方法中，只能加工导电材料的是（）

A、电火花加工

B、电解加工

C、激光加工

D、超声加工

E、水射流加工

F、电子束加工

G、离子束加工

下列特种加工方法中，不能够加工弯孔的是（）

A、电火花加工

B、激光加工

C、电解加工

D、超声加工

E、水射流加工

F、电子束加工

G、离子束加工

下列特种加工方法中，利用放电腐蚀原理进行加工的是（）。

A、电火花加工

B、电解加工

C、激光加工

D、超声加工

E、水射流加工

F、电子束加工

G、离子束加工

下列特种加工方法中，可以进行非接触远距离加工是（）。

A、电火花加工

B、电解加工

C、激光加工

D、超声加工

E、水射流加工

F、电子束加工

G、离子束加工

GC-MS质量分析器是利用电磁或磁场（包括磁场、磁场与电场组合、高频电场和高频脉冲电场等）的作用，将来自离子源的离子束中不同（）的离子按（）或（）或运动轨道稳定与否等形式分离的装置。

下列四个选项中，哪个是离子束加工所具有的特点（）。

A、加工中无机械应力和损伤

B、通过离子撞击工件表面将机械能转化成热能，使工件表面熔化而去除工件材料

C、工件表面层不产生热量，但有氧化现象

D、需要将工件接正电位（相对于离子源）

下面的说法中，不属于离子束加工特点的是（）

A、目前特种加工中最精密、最微细的加工

B、离子撞击工件表面，将机械能转换成热能，使工件表面融化、气化去除材料

C、加工在高真空中进行，污染少，特别适于易氧化金属加工

D、靠离子轰击材料表面原子进行加工，加工应力和变形极小