微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。
A、a.离子束刻蚀、激光刻蚀
B、b.干法刻蚀、湿法刻蚀
C、c.溅射加工、直写加工
GC-MS质量分析器是利用电磁或磁场（包括磁场、磁场与电场组合、高频电场和高频脉冲电场等）的作用，将来自离子源的离子束中不同（）的离子按（）或（）或运动轨道稳定与否等形式分离的装置。
下列特种加工方法中，不属于高能束加工范畴的是（）
A、激光加工
B、电火花加工
C、电子束加工
D、离子束加工
E、水射流加工
F、电解加工
能够在淬硬材料上加工φ3小孔的特种加工方法有（）。
A、电火花加工
B、超声波加工
C、离子束加工
D、光加工
