按加工原理分类，特种加工机床可以分为（）。
A、超声波加工
B、电子束加工
C、电加工
D、离子束加工
E、激光加工
按蒸发源加热方法的不同，真空蒸发工艺可分为：()蒸发、()蒸发、离子束蒸发等。
A.电阻加热
B.电子束
C.蒸气原子
