光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）。
A、电子束曝光技术
B、离子束曝光技术
C、X射线曝光技术
下列特种加工方法中，不属于高能束加工范畴的是（）
A、激光加工
B、电火花加工
C、电子束加工
D、离子束加工
E、水射流加工
F、电解加工
GC-MS质量分析器是利用电磁或磁场（包括磁场、磁场与电场组合、高频电场和高频脉冲电场等）的作用，将来自离子源的离子束中不同（）的离子按（）或（）或运动轨道稳定与否等形式分离的装置。
